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石英管式微波等離子體裝FM-CVD
石英管式微波等離子體裝FM-CVD

產(chǎn)品型號(hào): FM-CVD

所屬分類:探頭

產(chǎn)品時(shí)間:2024-07-20

簡(jiǎn)要描述:石英管式微波等離子體裝FM-CVD詳細(xì)介紹
(一)主要配置:

1、微波頻率2.45GHz;足額功率0~500W(基本型)或0~1000W(升級(jí)型)連續(xù)可調(diào),陽*壓、陽極電流足額顯示;

2、Φ50mm(基本型)或Φ90mm(升級(jí)型)石英管真空室,有一個(gè)觀察窗和一個(gè)診斷窗;

3、石英管采用制冷循環(huán)水冷卻,保證裝置安全運(yùn)行。

4、配有真

詳情介紹

石英管式微波等離子體裝FM-CVD

的詳細(xì)介紹

(一)主要配置:

1、微波頻率2.45GHz;足額功率0~500W(基本型)或0~1000W(升級(jí)型)連續(xù)可調(diào),陽*壓、陽極電流足額顯示;

2、Φ50mm(基本型)或Φ90mm(升級(jí)型)石英管真空室,有一個(gè)觀察窗和一個(gè)診斷窗;

3、石英管采用制冷循環(huán)水冷卻,保證裝置安全運(yùn)行。

4、配有真空測(cè)量及控制閥門系統(tǒng);3路工作氣體流量控制;

 

(二)典型實(shí)驗(yàn):

1、等離子體化學(xué)氣相沉積。A(氣)+B(氣)→C(固)+D(氣)。

反應(yīng)氣體A、B被激發(fā)為等離子狀態(tài),其活性基團(tuán)發(fā)生反應(yīng)生成所需要的固態(tài)物沉積在基片上,可廣泛用于薄膜或納米材料的合成。如金剛石薄膜、碳納米材料等。

2、等離子體表面刻蝕。A(氣)+B(固)→C(氣)。反應(yīng)氣體A被激發(fā)為等離子體狀態(tài)與固體B表面原子發(fā)生反應(yīng)生成氣態(tài)物C,可用于集成電路的刻蝕實(shí)驗(yàn)。

3、等離子體催化反應(yīng)。等離子體中具有豐富的活性成分,如紫外和可見光子、電子、離子、自由基,高反應(yīng)性的中性成分如活性原子、受激原子態(tài),從而可以引發(fā)在常規(guī)化學(xué)中不能或很難實(shí)現(xiàn)的化學(xué)反應(yīng)。

4、等離子體表面改性。A(氣)+B(固)→C(固)。反應(yīng)氣體A被激發(fā)為等離子體狀態(tài),與固體B表面發(fā)生反應(yīng),生成新的化合物,從而達(dá)到改變B物質(zhì)表面性質(zhì)的目的。廣泛用于高分子材料、金屬材料、生物醫(yī)用材料的表面改性。

 

(三)產(chǎn)品特色:

1、  微波系統(tǒng)設(shè)計(jì)嚴(yán)謹(jǐn),加工精良,運(yùn)行時(shí)微波準(zhǔn)零泄漏,確保使用者人身安全;

2、  微波功率充足,等離子效應(yīng)強(qiáng)勁,作用效果良好;陽極電壓電流足額顯示。

3、  樣品臺(tái)升降架精巧豪華,方便調(diào)諧和樣品取放;

4、  樣品臺(tái)可加熱或冷卻,有利于控制反應(yīng)過程。

5、制冷循環(huán)水系統(tǒng)踐行環(huán)保理念,避免用長(zhǎng)流水費(fèi)水?dāng)_民。

6、循環(huán)水機(jī)可聯(lián)機(jī)使用、可獨(dú)立使用,提高了投資效益;

7、缺水時(shí)啟動(dòng)高壓或正常工作時(shí)斷水,系統(tǒng)會(huì)斷電并報(bào)警;

8、真空泵排氣口接有油霧過濾器,保護(hù)環(huán)境;

9、電控系統(tǒng)功能完善、操作靈便、指示醒目;

10、整機(jī)造型典雅大氣。

 

(四)輔助設(shè)備與耗材(主要由客戶另購(gòu)):

超聲清洗機(jī)、1000×金相顯微鏡;硅片、金剛石微粉、氫氣、甲烷、甲 / 乙醇、玻璃基襯底的碳膜、模板、石英管 / 板等。

 

 

 

 

石英管式微波等離子體裝FM-CVD

 

(五)特殊配置(客戶提出要求,本廠設(shè)計(jì)制作,費(fèi)用雙方協(xié)商):

1、異型基片臺(tái)(樣品臺(tái))

2、上置疹斷探針(帶透明觀察窗)

3、可加熱可測(cè)溫的基片臺(tái)——可水冷可

出接線端子的基片臺(tái)支柱——寬行程

精巧豪華升降架——下法蘭(總成)

4、基片臺(tái)加熱及溫度測(cè)控儀

5、可水冷的基片臺(tái)(帶升降架總成)

6、光學(xué)鏡頭(用于聯(lián)接光譜儀、光度計(jì)等)

7、客戶提出需求的其它配置



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